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특허정보 상세정보 게시판
제목 스크러버의 수처리 순환펌프 장치
출원일자 2020-10-21
특허권자 이름 남상연
요약

본 발명은 반도체 제조 공정에서 발생되는 폐가스를 정화시키는 스크러버에 물을 공급할 수 있도록 구현한 스크러버의 수처리 순환펌프 장치에 관한 것으로, 반도체 폐가스 제거를 위한 스크러버의 반응기 하부에 위치되어 상기 스크러버로부터 전달되는 순환수가 수용되는 수처리 탱크; 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수를 상기 스크러버의 내부로 다시 공급시켜 주는 순환 모터; 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전되는 메인 임펠러; 상기 메인 임펠러의 상측에서 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전하는 파쇄 임펠러; 상기 메인 임펠러 및 상기 파쇄 임펠러가 수용되며, 하측에는 순환수를 흡입하는 흡입구가 형성되고, 일측에는 순환수를 토출하는 토출구가 형성된 하우징; 상기 수처리 탱크의 하측 각 모서리에 형성되는 하부홈에 설치되어 상기 수처리 탱크를 지지하는 탱크 지지대; 및 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되며, 상기 수처리 탱크로 순환수가 계속 공급됨에 따라 승강되어 상기 수처리 탱크의 내측 상측면과 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성하는 순환수 감지부;를 포함한다.

첨부파일 http://plus.kipris.or.kr/kiprisplusws/fileToss.jsp?arg=d8ed8dd5b70e0b90dcfe8daca075789a077e18fdc507a4936bf297a4d80a4bfe8fcc7f0fc580682ca9a1ee097490c311a5f356d915763023b038e6e695341aa5b6363df3b3f523e9
출처 http://kportal.kipris.or.kr
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등록번호 1022226750000
특허 등록일자 2021-02-25

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