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특허정보 상세정보 게시판
제목 농축 셀레늄 이온 주입을 위한 공급 소스 및 방법
대등제목 SUPPLY SOURCE AND METHOD FOR ENRICHED SELENIUM ION IMPLANTATION
출원번호 1020157031009
출원일자 2015-10-28
공개번호 1020150125018
공개일자 2015-11-06
공고 일자 2016-12-09
특허권 우선주장 미국(US) | 61/818,706 | 2013.05.02
발명자 이름 하이데르만더글라스시 외 2명
발명자 주소 미국 ** 뉴욕...(하이데르만더글라스시)
특허권자 이름 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
출원인 이름 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
출원인 주소 미국 *****-**** 코네티컷 데인베리 올드 리지베리 로드 **
대리인 주소 양영준 외 2명
요약

* 동위원소 농축 셀레늄 함유 소스 물질을 이온 주입하는 신규 방법이 제공된다. 소스 물질을 선택하고, 셀레늄의 특정 질량 동위원소로 농축시키며, 여기서 농축은 천연 존재비 수준을 초과한다. 본 발명의 방법은 감소된 기체 소모량 및 감소된 폐기물을 가능하게 한다. 소스 물질은 바람직하게는 대기압 미만의 저장 및 운반 장치로부터 저장되고 운반되어, 셀레늄 이온 주입 공정 동안 안전성 및 신뢰도를 향상시킨다.

대표청구항

* 다수의 셀레늄 질량 동위원소를 갖는 농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질을 선택하고;

전구체 물질 중에 천연 존재비 수준을 초과하는 농축 수준으로 함유된 특정 셀레늄 질량 동위원소를, 다수의 셀레늄 질량 동위원소로부터 선택하고;

농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질을, 기체 상으로, 선택된 농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체와 상용성인 저장 및 운반 용기에 제공하고;

농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질을 저장 및 운반 용기로부터 기체 상으로 회수하고;

상기 물질을 미리 결정된 유량으로 이온 소스로 유동시키고;

농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질을 이온화시켜 특정 셀레늄 질량 동위원소의 이온을 생성시키고;

이온화된 특정 셀레늄 질량 동위원소를 이온 소스로부터 추출하고;

이온화된 특정 셀레늄 질량 동위원소를 기판 내로 주입하는 것

을 포함하는, 셀레늄을 주입하는 방법이며,

여기서 상기 특정 셀레늄 질량 동위원소가 상응하는 천연 존재비 셀레늄 도펀트 전구체 물질 중 특정 셀레늄 질량 동위원소의 농도보다 더 높은 농도로 농축되고, 그에 의해 농축 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질의 미리 결정된 유량이 천연 존재비 셀레늄-기재 도펀트 전구체 물질의 상응하는 유량보다 더 적어지도록 한 것인, 셀레늄을 주입하는 방법.

출처 http://kportal.kipris.or.kr
조회수 994
등록번호 1016853200000
특허 등록일자 2016-12-05

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