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특허정보 상세정보 게시판
제목 미세환경 안에 퍼지가스를 균일하게 분포시키는 다공성의 장벽
대등제목 POROUS BARRIER FOR EVENLY DISTRIBUTED PURGE GAS IN A MICROENVIRONMENT
출원번호 1020127017734
출원일자 2010-12-10
공개번호 1020120107987
공개일자 2012-10-04
공고 일자 2018-02-26
발명자 이름 번스,존 외 2명
발명자 주소 미국 콜로라도 ***** 콜로라도 스프링스 보우 리버 드라이브 ****(번스,존)
특허권자 이름 엔테그리스, 아이엔씨.
출원인 이름 엔테그리스, 아이엔씨.
출원인 주소 미국 매사추세츠 (우편번호 *****) 빌러리카 콩코드 로드 ***
대리인 주소 양영준 외 1명
요약

* 미세환경 안에 퍼지가스의 균일한 분포를 제공하는 퍼지가스 운반 장치 및 방법의 실시를 통해 바람직한 수준의 상대 습도, 산소 또는 미립자들로 미세환경을 퍼지하기 위한 개선된 시스템 및 방법이다. 기판 컨테이너는 탑을 구비하며 그 안에 탑 길이로 연장하는 유체 흐름 경로를 구비한다. 구멍 및 유체 흐름 경로 사이에 다공성의 매체를 구비하는 구멍들은 각각의 구멍에 배출하는 공기의 압력 및 체적을 조절한다. 그 대신에, 탑은 다공성의 관 모양의 중합체 물질로 형성될 것이다. 슬리브는 내부 안에 퍼지가스 배출을 지시할 것이다.

대표청구항

* 기판들을 운송하기 위한 시스템이며,

기판들을 로딩(loading)/언로딩(unloading)하기 위한 개구를 갖는 컨테이너 부분과, 상기 개구를 밀폐 가능하게 덮도록 구성된 문을 갖는 기판 컨테이너와,

상기 기판 컨테이너 안에 배치된 기판 운송 구역과,

가스상 작동 유체로 기판 컨테이너 몸체를 퍼지하기 위해 기판 컨테이너의 내부에 가스상 작동 유체를 수용하는 기판 컨테이너 부분에 장착되도록 구성된 퍼지 탑을 포함하는 장치를 포함하고,

상기 퍼지 탑은 길이를 갖고, 상기 퍼지 탑은 오프셋 부분을 갖는 비-다공성 중합체 피팅 내에 설치된 다공성의 관 모양의 부분을 포함하고, 상기 가스상 작동 유체의 전체는 상기 비-다공성 중합체 피팅의 위로 향하는 개구를 통과하고, 내부 흐름 경로가 상기 퍼지 탑의 길이를 따라 연장되고,

상기 비-다공성 중합체 피팅 내에 위치하는 체크 밸브를 더 포함하는,

기판들을 운송하기 위한 시스템.

출처 http://kportal.kipris.or.kr
조회수 294
등록번호 1018325120000
특허 등록일자 2018-02-20

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