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특허정보 상세정보 게시판
제목 국부적 퍼징에 의한 대기 분자 오염 제어
대등제목 ATMOSPHERIC MOLECULAR CONTAMINATION CONTROL WITH LOCAL PURGING
출원번호 1020147002836
출원일자 2014-02-03
발명자 이름 곽히동 외 4명
발명자 주소 미국 캘리포니아주 ***** 산호세 데네비 드라이브 ****(곽히동)
특허권자 이름 케이엘에이-텐코 코포레이션
요약
  • 퍼징 가스로 웨이퍼의 표면의 부분을 퍼징하기 위한 국부적 퍼징 도구가 개시된다. 퍼징 도구는 퍼징 챔버의 캐비티 내에 퍼징 가스를 수납하도록 구성된 퍼징 챔버와, 챔버의 캐비티로부터 웨이퍼의 표면의 부분으로 퍼징 가스를 확산하도록 구성된 퍼징 챔버의 표면의 투과성 부분과, 조명 소스로부터 받은 조명을 웨이퍼의 표면의 부분의 측정 위치로 전달하도록 구성되고 측정 위치로부터 반사된 조명을 검출기로 전달하도록 또한 구성되는 개구를 포함한다.
  • 이미지존재(전문참조)

대표청구항

  • 퍼징 가스로 웨이퍼의 표면의 부분을 퍼징하기 위한 국부적 퍼징 도구에 있어서,
  • 퍼징 챔버의 캐비티 내에 퍼징 가스를 수납하도록 구성된 퍼징 챔버;
  • 상기 퍼징 챔버의 캐비티로부터 웨이퍼의 표면의 부분으로 퍼징 가스를 확산하도록 구성된 상기 퍼징 챔버의 표면의 투과성 부분; 및
  • 조명 소스로부터 받은 조명을 상기 웨이퍼의 표면의 부분의 측정 위치로 전달하도록 구성되고, 상기 측정 위치로부터 반사된 조명을 검출기로 전달하도록 또한 구성되는 개구를
  • 포함하는, 국부적 퍼징 도구.
출처 http://kipris.or.kr
조회수 1968
특허 등록일자 1900-01-01

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