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특허정보 상세정보 게시판
제목 프로세스 키트 및 챔버 세정 방법, 그리고 루테늄 회수 방법
특허번호 KR101512632
출원번호 KR102010007015752
출원일자 2010-07-15
요약

전자 장치 증착 설비로부터 금속을 회수하기 위한 방법이 제공되며, 그러한 방법은: 증착 금속으로 적어도 부분적으로 코팅된 증착 설비를 제공하는 단계; 증착된 금속의 적어도 일부를 제거하여 블라스팅된 그리트 및 제거된 금속을 형성하기 위해서, 그리트로 증착 설비를 블라스팅하는 단계; 그리고 블라스팅된 그리트로부터 제거된 금속의 적어도 일부를 분리하여 회수 금속을 형성하는 단계를 포함한다. 여러가지 다른 특징들도 제공된다.

대표청구항

전자 장치 증착 설비로부터 금속을 회수하기 위한 방법으로서:적어도 부분적으로 증착 금속으로 코팅된, 증착 설비를 제공하는 단계; 블라스팅된 그리트 및 제거된 금속을 형성하기 위하여 상기 증착 금속의 적어도 일부를 제거하도록, 상기 증착 설비를 그리트로 블라스팅하는 단계;그리고 회수 금속을 형성하기 위해 상기 블라스팅된 그리트로부터 상기 제거된 금속의 적어도 일부를 분리하는 단계;를 포함하며, 상기 회수 금속을 형성하기 위해 상기 블라스팅된 그리트로부터 상기 제거된 금속의 적어도 일부를 분리하는 단계는, 상기 제거된 금속을 용해하지 않는 매체를 사용하여 상기 블라스팅된 그리트를 용해하는 단계를 포함하는,전자 장치 증착 설비로부터 금속을 회수하기 위한 방법

첨부파일 프로세스_키트_및_챔버_세정_방법,_그리고_루테늄_회수_방법.pdf
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