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개발동향 상세정보 게시판
분류 [대기] 유해대기오염물질
과제명 전자산업공정 N2O 폐가스 처리용 200LPM급 FCTR 적용 스크러버 시스템 개발 및 실증
연구기관 엠에이티플러스(주)
연구기간 20170901 ~ 20191231
핵심키워드 전자산업, N2O 저감, NF3 저감, 반도체스크러버(FCTR),온실가스
요약 - 200LPM급 FCTR 반응기 적용 저에너지형 스크러버 통합 시스템 운영 기술 체계화를 통한 운전 성능 평가 및 사업화
- 고효율 FCTR 시스템의 신뢰성 확보 위한 설계 플랫폼 기술 구축
연구성과 - 200LPM급 FCTR 반응기 적용 저에너지형 스크러버 통합 시스템 운영 기술 체계화를 통한 운전 성능 평가 및 사업화
- 장기 연속 운전 기반 통합 스크러버시스템 정상 운전 시나리오 설정 통한 연속 운전 시퀀스 구축
- 고효율 FCTR 시스템의 신뢰성 확보 위한 설계 플랫폼 기술 구축
첨부파일 최종보고서(김동수)_200429F.pdf
출처 에코플러스 연구관리시스템
등록일 2020-09-07

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