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국내 환경산업체의 환경기술 및 제품을 소개하여 드립니다.
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제목 유독가스제거용 흡착제 (Cl2, HCl, BCl3, AsH3, PH3, H2S, F2, HBr, HF, Amine, 아민)
유독가스제거용 흡착제 (Cl2, HCl, BCl3, AsH3, PH3, H2S, F2, HBr, HF, Amine, 아민) 썸네일

분류 대기 > 기타
제품명 X-AsH3,X-PH3,X-SiH4,X-H2S,X-H2Se,X-Cl2,X-F2,X-BCl3,X-HCl,X-HBr,X-HF,X-Amine
모델명 X-AsH3,X-PH3,X-SiH4,X-H2S,X-H2Se,X-Cl2,X-F2,X-BCl3,X-HCl,X-HBr,X-HF,X-Amine
회사명 (ID) 한소주식회사 ( leadgenex )
인증마크 특허실용신안
자료요청
규격 펠렛, 파우더, 정제
용도 유독가스제거용
제품/기술 제품 가격
전화번호 042-936-0991 웹사이트주소 www.hansoinc.com
첨부파일  
특징 및 적용분야

X-BCl


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, HCl, HF, HBr, BCl3


등 산성가스 제거용


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)


Color : Brown


Bulk density : 0.6~0.7g/cc


Crush strength : > 4kgf/


Upper temp. limit : < 100


 


 


X-Cl


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, Cl2, F2 등 산성가스


제거용


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=2.2, more)


Color : White


Bulk density : 0.6~0.7g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 



X-Amines


 


Application Field


 


확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, NH3, TMA, Amino-silane 등 염기성가스 제거용


 


 


Characteristic


Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)


Color : Light brown


Bulk density : 0.8g/cc


Crush strength : > 4.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 



X-HS


 


Application Field


 


확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, H2S, H2Se, PH3, AsH3 등 가스제거용


 


 


Characteristic


Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)


Color : Light blue


Bulk density : 0.8g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 50


 



X-SiH


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)/에칭(Etching)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, SiH4


등 가스제거용


 


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)


Color : Purple


Bulk density : 0.70~0.75g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 


 

Q&A
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Tel
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