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제목 유독가스제거용 흡착제 (Cl2, HCl, BCl3, AsH3, PH3, H2S, F2, HBr, HF, Amine, 아민)
대표 이미지 유독가스제거용 흡착제 (Cl2, HCl, BCl3, AsH3, PH3, H2S, F2, HBr, HF, Amine, 아민) 썸네일

분류 대기 > 기타
제품명 X-AsH3,X-PH3,X-SiH4,X-H2S,X-H2Se,X-Cl2,X-F2,X-BCl3,X-HCl,X-HBr,X-HF,X-Amine
모델명 X-AsH3,X-PH3,X-SiH4,X-H2S,X-H2Se,X-Cl2,X-F2,X-BCl3,X-HCl,X-HBr,X-HF,X-Amine
회사명 한소주식회사
인증마크 특허실용신안
규격 펠렛, 파우더, 정제
용도 유독가스제거용
제품/기술 제품
전화번호 042-936-0991
웹사이트주소 http://www.hansoinc.com
특징 및 적용분야

X-BCl


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, HCl, HF, HBr, BCl3


등 산성가스 제거용


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)


Color : Brown


Bulk density : 0.6~0.7g/cc


Crush strength : > 4kgf/


Upper temp. limit : < 100


 


 


X-Cl


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, Cl2, F2 등 산성가스


제거용


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=2.2, more)


Color : White


Bulk density : 0.6~0.7g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 



X-Amines


 


Application Field


 


확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, NH3, TMA, Amino-silane 등 염기성가스 제거용


 


 


Characteristic


Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)


Color : Light brown


Bulk density : 0.8g/cc


Crush strength : > 4.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 



X-HS


 


Application Field


 


확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, H2S, H2Se, PH3, AsH3 등 가스제거용


 


 


Characteristic


Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)


Color : Light blue


Bulk density : 0.8g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 50


 



X-SiH


 


Application Field


 


이온주입(Ion Implant)공정, 에슁(Ashing)/에칭(Etching)공정, Epi공정, 화학증착(CVD)공정, SiH4


등 가스제거용


 


 


Characteristic


 


Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)


Color : Purple


Bulk density : 0.70~0.75g/cc


Crush strength : > 2.0kgf/


Upper temp. limit : < 100


 


 

Q&A

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