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설비장비/중고장터

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설비장비/중고장터 상세정보 게시판
제목 표면 검사 및 Photoluminescence(PL) 검사 장비
회사명 레이저텍주식회사
주소 가나가와현 요코하마시 고호쿠구 신요코하마 2-10-1
업종 장치설비
대표전화 045-478-7111
팩스 045-476-1061
이메일 sales@lasertec.co.jp
개요

■ φ6인치 Wafer 전면 검사 시 10/시간. 양산 대응이 가능한 High throughput 실현가능한 검사장비

특징

표면 결함과 동시에 Epi Wafer 내부의 기저면내 전위(BPD), 적층 결함(SF) 등의 결정 결함을 고감도로 검출

 

결함의 고해상도 Review 이미지 취득과 동시에 고정밀도 자동 결함 분류ADC를 이용하여 각종 결함을 상세 분류. 고해상도 결함 영상을 취득할 수 있기에 현미경으로 재 관찰 불필요

 

■ φ6인치 Wafer 전면 검사 시 10/시간. 양산 대응이 가능한 High throughput 실현

사양
Thum 이미지
사진 표면 검사 및 Photoluminescence(PL) 검사 장비 이미지
첨부파일 표면_검사_및_Photoluminescence(PL)_검사_장비.hwp
등록일 2020-10-19

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